氟樹脂在超高純試劑生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用，氟樹脂材料由含氟原子的單體通過均聚或共聚反應(yīng)而成，目前使用中的氟樹脂品種主要有聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯－三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯－四氟乙烯共聚物（ETFE）和四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用的氟樹脂主要為PTFE和PFA。  

      PTFE樹脂占所有氟塑材料應(yīng)用的70%左右，由于其獨有的分子結(jié)構(gòu)，使材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性，耐酸抗堿、抗大部分溶劑的特點。同時，PTFE具有耐低溫和相對高溫的特點，工作溫度范圍可達(dá)到-80℃~200℃。   

      PFA為四氟乙烯和全氟丙基乙烯基醚（FVE）的共聚物，分子結(jié)構(gòu)與PTFE十分接近，很多性能也非常接近。最大的不同是，PFA可以熔融加工、注塑、擠出等，所以PFA又稱為可熔性PTFE。    

      氟樹脂材料在與高純化學(xué)試劑接觸時，幾乎沒有不純物質(zhì)的溶出，且耐腐蝕性優(yōu)異，具備長期使用也能保持純度的優(yōu)異特性。在應(yīng)用于超凈高純化學(xué)試劑的氟樹脂中，尤其以PTFE與PFA最為廣泛，其耐腐蝕性更加優(yōu)異，耐蝕高純化學(xué)試劑的品種更加廣泛。  

對于氟樹脂材料（PTFE和PFA）的

指標(biāo)要求

1.樹脂使用技術(shù)要求   

1）金屬離子的析出SEMI3及以上的超凈高純化學(xué)品中，其產(chǎn)品在包裝儲運和使用過程中，單項金屬離子要求保持在ppb甚至ppt級的水平。因此，對預(yù)期接觸的所有材料必須也保持相應(yīng)技術(shù)水平，保證無過量金屬離子析出。

2）顆粒數(shù)持續(xù)增長：若樹脂材料的在分子水平上出現(xiàn)過量的分子斷裂或者溶出，會導(dǎo)致在電路濕制程當(dāng)中引起大量產(chǎn)品污染和線路缺陷。 

3）小分子滲透：超凈高純化學(xué)試劑分子量一般相對較小，滲透性強，而樹脂在生產(chǎn)中容易出現(xiàn)大分子間隙，導(dǎo)致分子溢出，可能會對儲運設(shè)施外層金屬產(chǎn)生微量腐蝕，而微量的腐蝕污染足以導(dǎo)致產(chǎn)品失效。

2.樹脂制造技術(shù)要求  

1）材質(zhì)的純凈度，保證不對產(chǎn)品造成二次污染；

2）樹脂聚合中分子量分布盡可能的窄；

3）聚合過程中支鏈的控制技術(shù)；

4）功能添加劑的選擇穩(wěn)定性和溢出控制。

在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中，

氟樹脂主要用于的四大領(lǐng)域

1）濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中鋼襯PFA/PTFE設(shè)備 

      鋼襯PFA/PTFE設(shè)備分為塔器、罐體、管道和泵閥等，其特點在于不僅鋼制容器強度高，而且在強腐蝕介質(zhì)的工況下仍能保證

-80℃~200℃的溫度區(qū)間應(yīng)用。致密的PFA/PTFE層保證其適用大部分電子化學(xué)品生產(chǎn)工況。    

      鋼襯PFA/PTFE容器可分為模壓、板襯、噴涂等工藝，視不同工況可以選擇不同的內(nèi)襯工藝，成品使用需通過標(biāo)準(zhǔn)離子浸出實驗；電子化學(xué)品生產(chǎn)成品包裝、儲存、運輸一般采用更嚴(yán)格的超純PFA襯里設(shè)備。目前PFA樹脂主要生產(chǎn)廠家為科慕（杜邦）、大金、旭硝子等國外廠商。PTFE樹脂國內(nèi)廠商有東岳、巨化等，并且開始有少量試生產(chǎn)PFA樹脂。

 2）濕電子化學(xué)品精餾用PFA/PTFE分離填料

      PFA/PTFE分離填料具有通量大、效率高等特點，廣泛用于超純物系的吸收和精餾。規(guī)整填料分離效率在中等噴淋密度時與同樣比表面積的金屬規(guī)整填料相比高約7.8%；在模擬計算和實際設(shè)計的時候，精餾塔比相類似的金屬塔要略高；PFA/PTFE鮑爾環(huán)和拉西環(huán)等散堆填料，在吸收時用的比較多，例如用于SO3吸收制超純硫酸工藝。

3）濕電子化學(xué)品精餾提純用主要內(nèi)構(gòu)件

      PFA/PTFE管式、槽盤式分布器、復(fù)合支撐和除霧器等，這些內(nèi)構(gòu)件對汽液平衡、汽液均勻分布具有不可或缺的作用，特別是除沫器和除霧器的應(yīng)用對霧沫夾帶和微小液滴（3μm以下）起著重要作用。3μm以下的需要采用纖維除霧器去除。這也是精餾提純電子化學(xué)品的關(guān)鍵步驟之一。

4）濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中的熱交換設(shè)備

      列管式PFA/PTFE換熱器超強的耐蝕防老化性能和超潔凈性能，使其廣泛應(yīng)用于化工、酸洗、電鍍、醫(yī)藥和電子化學(xué)品等行業(yè)。由于其耐溫性能極佳（-80℃～180℃），既適用于普通換熱及冷卻，亦適用于蒸汽加熱。    

      隨著氟塑原材料生產(chǎn)技術(shù)和管材加工技術(shù)的提高，目前四氟管管壁厚度達(dá)到0.3～1.0mm，加之無垢下熱阻，在液液、汽液傳熱中總傳熱系數(shù)比較高，總傳熱系數(shù)約200～300W/m2 ℃。與金屬列管式換熱器相比較，因采用毛細(xì)管，單位體積換熱面積大約1.5倍，換熱效率與同體積的金屬換熱器相當(dāng)。

半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品，

未來發(fā)展需四輪驅(qū)動

      濕電子化學(xué)品的應(yīng)用受等終端市場限制和影響較大，其生產(chǎn)工藝和設(shè)備大都是國內(nèi)客戶從國外成套引進，而且目前超純PFA材料在短期內(nèi)難以國產(chǎn)化。更主要的是，傳統(tǒng)的鋼襯四氟行業(yè)對高純環(huán)境加工認(rèn)識不足，加工技術(shù)難以掌握，限制了國產(chǎn)氟塑加工企業(yè)在電子化學(xué)品行業(yè)的發(fā)展。

針對目前的現(xiàn)狀，提出以下四點建議： 

一是國產(chǎn)樹脂廠商（如巨化、東岳等）應(yīng)加大超純樹脂產(chǎn)品研發(fā)力度和標(biāo)準(zhǔn)制定； 進一步聯(lián)合終端廠商及研究院建立中試示范基地，不要只追求“短平快'和利益最快化，要做扶得起得阿斗，拿得出手得泰斗！

二是相關(guān)協(xié)會牽頭聯(lián)合研究設(shè)計院、生產(chǎn)廠商及氟塑加工企業(yè)盡快制定材料和制造檢測標(biāo)準(zhǔn)，為規(guī)范化使用超純氟樹脂奠定基礎(chǔ)； 

三是高校和研究設(shè)計院以及生產(chǎn)廠商聯(lián)合開發(fā)出相應(yīng)的電子化學(xué)品生產(chǎn)工藝包，規(guī)范相應(yīng)的工程設(shè)計； 

四是進一步聯(lián)合外資大品牌的技術(shù)和人員，以及優(yōu)秀專業(yè)的氟化工經(jīng)銷商（比如像‘解放軍'一樣專業(yè)的上海勁孚化工，而非'農(nóng)民軍’級的經(jīng)銷商），引導(dǎo)和構(gòu)建高質(zhì)量產(chǎn)品、高新技術(shù)交流的橋梁。